C. 그랜트 카지노 커뮤니티텍사스 대학교 오스틴 화학 공학 및 화학 교수가 현재 거의 모든 마이크로프로세서를 제조하는 데 사용되는 공정 개발로 노벨상과 유사한 국제 상인 일본상을 수상했습니다. 세계 최고의 메모리 칩입니다.
그는 현재 사우디아라비아 King Abdullah University의 연구 부사장이자 화학과 교수인 동료이자 친구인 Jean M.J. Fréchet와 5천만 엔(미화 약 560,000달러)의 상금을 공유하고 있습니다. 오늘 도쿄에서 열린 시상식에서 우승자가 발표되었습니다.
카지노 커뮤니티과 Fréchet은 1979년에 처음으로 "화학 증폭형 레지스트"를 구상했습니다. 카지노 커뮤니티은 IBM Corp.의 연구원이었고 Fréchet는 IBM에서 안식년을 보내는 동안 회사에서 1년을 보내고 있었습니다. 오타와대학교.
“나의 상사가 나에게 와서 여기에 와서 1년을 보내고 싶어하는 미친 프랑스인이 있다고 말했습니다. 당신이 그의 호스트가 되어 주시겠어요?”
포토레지스트는 컴퓨터 칩을 제조하는 데 사용되는 기본 공정을 가능하게 하는 감광성 재료입니다. 빛의 패턴이 실리콘 웨이퍼를 덮고 있는 포토레지스트에 닿습니다.
카지노 커뮤니티과 Fréchet이 대화를 시작했을 때 IBM은 칩 제조 부문의 세계적 선두주자였습니다. 약 2년마다 "무어의 법칙"에 따라 회사는 실리콘에 더 작은 패턴을 쓸 수 있었고 이를 통해 각 칩의 장치 수를 두 배로 늘릴 수 있었습니다.
“우리는 막혔어요.” 카지노 커뮤니티이 말했습니다. “장치의 추가 축소로 인해 더 짧은 파장의 자외선으로 인쇄해야 했습니다.
카지노 커뮤니티과 Fréchet은 포토레지스트의 감도를 증폭시키기 위해 촉매를 사용할 것을 제안했습니다. 레지스트의 한 분자에서 화학적 변화를 촉발하기 위해 하나 또는 여러 개의 빛 광자에 의존하는 대신, 촉매를 사용하면 이론적으로 하나의 광자가 주변의 많은 광자를 "씹어먹는" 반응을 일으킬 수 있습니다.
"그것은 작동하지 말았어야 했어요." 카지노 커뮤니티이 말했습니다. “가는 선을 그리기에는 너무 무딘 도구였어야 했어요.
연말에 IBM을 떠난 프레셰는 멀리서도 계속 협력했습니다. 그와 카지노 커뮤니티은 곧 뉴욕 주립대학교 시러큐스에서 영입한 이토 히로시(Hiroshi Ito)와 합류했습니다.
“나는 아직도 버몬트 주 벌링턴에 있는 IBM 시설의 클린룸에 서서 우리의 새로운 재료로 제조되는 수많은 부품을 지켜본 기억이 납니다.”라고 카지노 커뮤니티은 말했습니다. “설명하기 어려운 스릴이었습니다.”
화학 증폭형 레지스트와 그 후손은 IBM이 수년 동안 칩 생산 부문에서 우위를 유지하는 데 도움이 되었습니다. 특허는 1990년대 초반에 허가되었으며, 레지스트에 대한 다양한 변형이 개발되었습니다.
"재료가 훨씬 더 정교해졌습니다." 카지노 커뮤니티이 말했습니다. “하지만 기본적인 디자인 컨셉은 똑같습니다.
만약 극자외선(EUV) 리소그래피와 같은 잠재적인 차세대 방법이 실행 가능하다고 입증된다면 레지스트는 계속해서 살아남을 것입니다. 아이러니하게도 카지노 커뮤니티 자신과 S.V.는 나노임프린트 리소그래피라는 공정에 다른 곳에 투자했습니다.
"저는 레이저와 렌즈, 레지스트를 사용하는 모든 아이디어가 한계에 도달했다고 생각합니다"라고 그는 말했습니다. "하지만 우리가 맡은 작은 역할을 수행했다는 것은 정말 놀라운 일이었습니다."
카지노 커뮤니티과 Sreenivasan은 2012년 나노임프린트 리소그래피 기술로 대학의 기술 상업화 부서에서 '올해의 발명가'로 선정되었습니다. 카지노 커뮤니티은 또한 화학 증폭형 레지스트 및 고급 패터닝 기술 개발로 2007년 국가 기술 및 혁신 메달을 수상했습니다.
일본상은 일본 과학기술재단이 주관하며 과학기술 분야에서 독창적이고 뛰어난 업적을 이룬 전 세계의 과학자에게 수여됩니다. 올해의 또 다른 상은 “심해 생물의 생태 및 생물 다양성 연구를 통한 해양 환경 보존”에 공헌한 러트거스 대학(Rutgers University)의 John Frederick Grassle 교수에게 수여됩니다.
